ATLAS ist eine zu 100% modular aufgebaute Steuerungssoftware.

Um ein System zu steuern muss ATLAS genau zwei Dinge über eine Systemkomponente kennen:

  • Die Funktionen des Gerätes (Hardwarecontroller)
  • Wie diese Funktionen im Prozess verwendet werden (Prozessmodule)

Mit diesen kleinsten Komponenten kann ATLAS jeden Prozessablauf abbilden und ermöglicht ein Höchstmaß an Flexibilität in der Prozessgestaltung.
ATLAS ist völlig offen über das Anlagenlayout und die installierten Komponenten. Ob Ihre Anlage für optische Beschichtungen (IAD, IBS, Ion Plating, Sputtering, etc), CVD oder andere Prozesse - ATLAS kann als Anlagensteuerung eingesetzt werden.


Wenn Sie ein Retrofit für Ihr System benötigen, aber bestimmte Geräte behalten wollen, kann ATLAS helfen. Ob es sich um ein zertifiziertes Messgerät oder ein anderes spezifisches Gerät handelt, ATLAS bietet Möglichkeiten zur Einbindung.

System Overview

Der System Overview zeigt den aktuellen Systemzustand. Ein allfälliger manueller Betrieb des Systems erfolgt über die Bedienung der einzelnen Komponenten im Hardware Panel.

Der Overview passt sich automatische an jede Bildschirmgrösse an. Jeder Benutzer hat die Möglichkeit sich seine Ansichten entsprechend seiner Vorlieben zusammenzustellen und abzuspeichern.

Im Falle einer Änderung an der Systemkonfiguration werden neue Komponenten automatisch im Layout hinzugefügt.

 

Aktueller Zustand des Pumpsystems
Aktuelle Messwerte aller Messkomponenten
Betriebszustand der Beschichtungskomponenten auf einen Blick
Manuelle Steuerung und ausführliche Parameter der Komponenten im Hardware Panel
Statusanzeige System
  • Aktueller Zustand des Pumpsystems
  • Aktuelle Messwerte aller Messkomponenten
  • Betriebszustand der Beschichtungskomponenten auf einen Blick
  • Manuelle Steuerung und ausführliche Parameter der Komponenten im Hardware Panel
  • Statusanzeige System

Prozessdesign Step View

Das Prozessdesign kann wie auf anderen bekannten Systemen im Step View erfolgen. Die einzelnen Schritte können im Editorfenster parametrisiert werden.

Die einzelnen Schritte können aus der Step-Bibliothek abgerufen werden. Auch die Wiederholung von Steps (Loops) sind problemlos möglich.

Für grössere Multilayerdesigns gibt es auch die Möglichkeit den Prozess in Tabellenform darzustellen und zu bearbeiten.

Prozessdesign im Step View wie es von Beschichtungsanlagen bekannt ist, eine einfache Liste mit den Prozessschritten
Nach Auswahl eines Steps kann im Editor der einzelne Schritt parametriert werden
Einfaches Laden oder Speichern von Rezepten
  • Prozessdesign im Step View wie es von Beschichtungsanlagen bekannt ist, eine einfache Liste mit den Prozessschritten
  • Nach Auswahl eines Steps kann im Editor der einzelne Schritt parametriert werden
  • Einfaches Laden oder Speichern von Rezepten

Prozessdesign Schematic View

Der Schematic View liegt dem Prozessdesigner von ATLAS zu Grunde. Mit demselben Prinzip können auf einer tieferen Bedienungsebene eigene Standardschritte für die Stepbibliothek erstellt werden.

Damit eröffnen sich dem Prozessentwickler eine grosse Anzahl von neuen Möglichkeiten. Spezielle Beschichtungsschritte müssen nicht mehr vom Systemlieferanten programmiert werden, sondern können vom Prozessdesigner selber erstellt und in der Bibliothek abgelegt werden.

Die einzelnen Prozessmodule können im Schematic View ebenfalls im Editorfenster konfiguriert werden. 

Schematic View: Darstellung des Prozesses als Ablaufdiagramm
Schematic View - Step Detail Editor: Schritterstellung als Ablaufdiagramm mit vielen neuen Möglichkeiten
Parametrisierung der einzelnen Module im Editor
  • Schematic View: Darstellung des Prozesses als Ablaufdiagramm
  • Schematic View - Step Detail Editor: Schritterstellung als Ablaufdiagramm mit vielen neuen Möglichkeiten
  • Parametrisierung der einzelnen Module im Editor

Im Prozess

Grundsätzlich kann sich jeder User sein Layout für die Prozessüberwachung nach den eigenen Vorlieben zusammenstellen. Je nach Anzahl Bildschirme ist der Anzeigeplatz natürlich limitiert.

Eine mögliche Darstellung ist die Beobachtung des laufenden Prozesses im Stepeditor mit gleichzeitigem System Overview (Bild rechts). Der Benutzer sieht auf den ersten Blick wie weit der Prozess fortgeschritten ist und welche Komponenten gerade aktiv sind.

Als zusätzliche Möglichkeit stehen diverse Charts, sowie der Scope View zur Verfügung.

Übersichtliche Darstellung des gesamten Systems und aktueller Betriebszustände der Komponenten
Prozessablauf mit Details zum aktuell aktiven Schritt
  • Übersichtliche Darstellung des gesamten Systems und aktueller Betriebszustände der Komponenten
  • Prozessablauf mit Details zum aktuell aktiven Schritt

Scope View

Der Scope View zeichnet die wichtigsten Werte des aktuellen Prozesses graphisch auf. Die Graphen lassen sich für jeden Schritt einzeln, oder für den gesamten Prozess anzeigen und anschliessend auch abspeichern.

Liste der Prozessschritte des aktuellen Prozesses
Charts der aufgezeichneten Werte mit automatischer Skala
Legende mit aktuellen Werten - Durch Auswahl wird die Skala dem jeweiligen Wert angepasst.
Speichermöglichkeit für Process Scope
  • Liste der Prozessschritte des aktuellen Prozesses
  • Charts der aufgezeichneten Werte mit automatischer Skala
  • Legende mit aktuellen Werten - Durch Auswahl wird die Skala dem jeweiligen Wert angepasst.
  • Speichermöglichkeit für Process Scope

und noch vieles Mehr

Nebst den dargestellten Features sind natürlich noch weitere vorhanden.

  • Frei konfigurierbare Layouts gemäss den Vorlieben des Benutzers
  • Live-Charts und Diagramme für den laufenden Prozess
  • Logging von allen System-, Prozess- und Userdaten über längere Zeit um eine nachträgliche Fehlerreproduktion zu ermöglichen
  • Global Change zum globalen Anpassen der Rezeptparameter in allen Rezepten
  • Benutzermanagement mit verschiedenen Zugriffslevels und spezifisch abspeicherbaren Layouts
  • Reportgenerator für lückenlose Produktdokumentation mit Einbindung von kundenspezifischen Produktdaten
  • Ein Taskscheduler für den optimalen Anlagenbetrieb

 

ATLAS, die Steuerungssoftware für alle Systeme