Ersatz Leybold Steuerung - Erhalt Steuerschränke,  Aufbau durch Kunde

Eine Leybold 560 wird durch den Kunden zur Testanlage umgebaut. Coaters Paradise hilft bei der Planung des Umbaus und rüstet die Anlage anschliessend mit ATLAS aus. Dank der neuen Steuerung hat der Kunde die Flexibilität um verschiedene Komponenten in der Anlage zu testen. 

Mittelfristig wird auf der Anlage ein neues Optisches Monitoring integriert und getestet. Die ersten Tests sind mittlerweile erfolgreich durchgeführt worden.

Modifikationen

  • Planung durch Coaters Paradise gemeinsam mit dem Kunden
  • Umbauten vor Ort alle durch den Kunden erledigt
  • minimale Umbauzeit
  • Inbetriebnahme und Konfiguration durch Fernzugriff - Kosteneffizient
  • Beibehaltung der Steuerschränke
  • Systemkomponenten:
    • Smartbeam EMB8II - Elektronenstrahlverdampfer über BeamTrek Verdampfersteuerung
    • KRI End-Hall Ionenquelle EH1000
    • Inficon SQC310 Schichtdickenkontroller
    • Colnatec EONLT Schichtdicken- und Temperaturmonitor
    • Pumpsystem: CTI Kryopumpe und Leybold Turbopumpe
    • Vakuummessröhren: InstuTech, PfeifferVacuum, Leybold
    • Izovac Optisches Monitoring

 

Projektpartner

 

 

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