Kompletter Retrofit - mit neuem Elektroschrank und neuer Steuerung

Mehrere Systeme des Typs BAS450, ein DC-Plasma Sputteringsystem für metallische Beschichtung wird komplett überholt. Das alte System wird abgerüstet und der Rezipient überholt. Das neue System wird aus neuen und revidierten Bauteilen aufgebaut.

Ein neuer Elektroschrank, neue Sicherheitstechnik und eine neue Systemsteuerung ermöglichen den automatisierten Dauerbetrieb des Systems.

Modifikationen

  • Revision des Rezipienten - Dichtflächen nachgearbeitet und Oberflächen elektropoliert
  • Neues Magnetron konstruiert und hergestellt
  • Ersatz sämtlicher Antriebe
  • Integration Quarzheizstrahler
  • Neukonstruktion Deckel- und Bodenplatte
  • Integration RF-BIAS
  • Erneuerung Kühlwassersystem
  • Pumpsystem ersetzt
  • Planung und Realisierung von Elektrifizierung und Automation 

 

 

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