Erweiterter Steuerungsretrofit

Steuerungsretrofit an einem BAH1600 System zur metallischen Verdampfung mit CVD Postprocessing. Nebst dem Ersatz der kompletten bisherigen Anlagen- und Pumpstandsteuerung durch ATLAS wird die Verkabelung der 30jährigen Anlage überprüft und in den Originalzustand zurückversetzt. Die Steuerschränke und Komponenten werden beibehalten

Modifikationen

  • Ersatz Steuerung und BPU420 durch ATLAS
  • Verdrahtung in Originalzustand versetzt
  • Ersatz der bestehenden Gasregelung durch Flow Controler 

 

Projektpartner

 

 

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