Steuerungsretrofit - Integration von Plasmaquelle und neuer E-Gun - Prozessentwicklung

Ein BAK640 System wird mit der neuen Systemsteuerung ATLAS aufgerüstet. Zusätzlich zum Steuerungsretrofit wird eine neue E-Gun von Beamtec, eine neue RF-Plasmaquelle von CCR sowie neue Quarzheizstrahler integriert. Die Ratenmessung wird ebenfalls ersetzt, sowie ein an die neuen Komponenten angepasster Schutzblechsatz erstellt.

Nach der Inbetriebnahme wird die Anlage eingeschossen und der Prozess - Vergütung von optischen Komponenten - appliziert und optimiert.

 

Modifikationen

  • Integration neue E-Gun
  • Integration - RF-Plasmaquelle
  • Integration Quarzheizstrahler
  • Revision Pumpsystem
  • Ergänzung des Steuerschranks
  • Systemsteuerung durch ATLAS
  • Konstruktion/Herstellung mechanischer Komponenten
  • Prozessapplikation und -optimierung einer kundenspezifischen spektralen Spezifikation auf entsprechende Bauteile

 

Project partner

 

 

  

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